Вакуумно посребрено реактивно разпрашващо покритие

Вакуумно посребрено реактивно разпрашващо покритие

Първият е да се използват сложни цели за покритие. По време на разпрашване, целевото съединение се разлага поради ефекта на йонно бомбардиране. Например, след използване на чист аргон като разпръскващ газ, стехиометричното съотношение на новопроизведения филм ще бъде изкривено. За да се компенсира загубата на известни компоненти, определено количество реактивен газ може да се добави към аргон за генериране на съединения, така че да се гарантира, че съставът на филмовия слой остава непроменен.

Второто е да се използва чист метал, сплав или смес като цел за покритие, в смесена атмосфера на разпрашаване, съставена от инертен газ и реактивен газ, чрез разпрашаване и химическа реакция за получаване на съставния филм.

Основната разлика между двете форми е скоростта на отлагане и налягането на реакционния газ. Реактивните газове, които могат да се използват за реактивно разпръскване, са: въздух, кислород или водна пара (за генериране на оксиден филм), азот или NH3 (за генериране на нитриден филм), кислород плюс азот (за генериране на оксинитриден филм), H2S (за генериране сулфиден филм), As (генериране на арсенов филм) и др. Някои от тези газове трябва да обърнат внимание на проблемите на безопасността при употреба.

Понастоящем диаметърът на цилиндричната цел за магнетронно разпръскване е достигнал 2,5 метра, а дължината на планарната цел за магнетронно разпръскване е достигнала 6,5 метра. Появата на високомощни мишени за магнетронно разпръскване с голяма площ отвори широк път за приложения в промишлено производство с голям обем.

Недостатъци на вакуумно сребърно покритие устойчивост на изпаряване източник изпаряване метод

Недостатъкът на метода за изпаряване на източника на резистентно изпарение е, че максималната температура, която може да бъде достигната чрез нагряване, е ограничена и животът на нагревателя също е кратък. През последните години, за да се подобри живота на източника на съпротивление на изпарение, фабриките за оборудване за вакуумно покритие у нас и в чужбина са използвали проводимия керамичен материал, синтезиран от борен нитрид с по-дълъг живот като източник на изпарение. Според доклад за японски патент той може да използва материал, съставен от 20 процента до 30 процента борен нитрид и огнеупорен материал, който може да се слее с него, за да се направи източник на изпарение (тигел), и да покрие повърхността му със слой от Съдържа 62 процента до 82 процента цирконий, а останалото е материал от циркониево-силиконова сплав.

www.superbheater.com