Ръководство за работа на машина за свързване на топлината на топлината на топлината и предпазни мерки

Вакуумната машина за свързване с гореща преса се използва за запечатване на твърди пластмасови органични чипове като PMMA, PC, COC и др. .; for medium and low high temperature bonding of substrates such as glass, silicon wafers, wafers, sapphire, quartz, etc. The maximum temperature of the laboratory vacuum hot press is 300℃, the maximum size of the sealed product is 230*200mm, and the maximum thickness is 140mm. It is used for sealing hard plastic chips such as PMMA, PC, COC, и специално оборудване за обработка на твърди пластмасови микрофлуидни чипове .

Before turning on the power switch of the vacuum hot press, make sure that the control switch on the working interface is in the off state. Connect the gas circuit, test the operation of the cylinder, press the switch of the control cylinder and then press it again. The cylinder can move up and down, indicating that the gas circuit of the equipment is normal. If the pressure gauge does not work and the Отоплителният модул не работи, моля, проверете дали връзката между манометъра на налягането и отоплителния модул или топлинния сензор е правилна или се свържете с техниците на компанията или незабавно поддържащата станция .

Работата на вакуумната свързваща машина за гореща преса трябва строго да следва следните стъпки

(1) Проверете дали захранващите кабели на вакуумната свързваща машина за горещо пресоване, вакуумната помпа и въздушният компресор са свързани правилно, проверете дали газопроводи на всяка част са свързани правилно и затворете клапаните и превключвателите на всяка част на системата .

(2) Поставете чипа, който да бъде свързан в средата на работната платформа (или съответното приспособление), регулирайте хода на цилиндъра, затворете люка, включете вакуумната помпа и извадете въздуха вътре в горещото пресоване .

(3) Натиснете превключвателя за управление на цилиндъра, за да определите налягането върху чипа .

(4) Настройка на температурата: Регулирайте копчетата за контрол на температурата на горната и долната плоча до необходимата температура .

(5) Натиснете превключвателите за контрол на температурата на горната и долната плоча, за да започнете нагряване и свързване на чипа .

(6) След завършване на свързването на горещото натискане, изключете превключвателите на горната и долната плоча, за да спрете отоплителната плоча .

(7) След като температурата се охлади естествено до параметрите на процеса, пуснете въздуха да балансират вътрешното и външното налягане

(8) Отворете люка, пневматичния режим на охлаждане на въздуха и ускорете скоростта на охлаждане

(9) След като температурата падне под 50 градуса, натиснете бутона на цилиндъра, цилиндърът се повдига нагоре и свързването е завършено

Работни процедури и предпазни мерки за вакуумно горещо натискане на пещ

1. се подгответе да включите превключвателя на чилъра, в противен случай оборудването ще се тревожи поради ниското налягане на водата .

2. Преди да включите превключвателя за захранване, трябва да проверите състоянието на всеки превключвател:

1. режимът на отопление трябва да бъде зададен на "ръчна" предавка, а регулирането на мощността трябва да се завърти обратно на часовниковата стрелка до дъното;

2. Независимо дали превключвателят на налягането "нагоре-стоп-надолу" превключвател е в положение на стоп и дали потенциометърът на налягането се завърта до минимум; След като горните проверки са правилни, първо включете основния превключвател за захранване и след това включете вторичния превключвател на захранването .

3. Отворете пещта и сложете в пробата

The furnace is usually in a vacuum state when not in use. Before using it, you should first observe the vacuum state of the furnace. If it is in a vacuum, first slowly inflate the furnace body to normal pressure through the air inlet valve, then use a thousand tops to open the furnace cover, take out the two covers, and put the sample to be fired into the furnace тяло .

Ако стенахте без налягане, не трябва да забравяте, че и вътрешните и външните изолационни капаци трябва да бъдат покрити, в противен случай температурата може да не се повишава; Ако искате да отоплявате синтероване, трябва да премахнете малкото капак в средата на най -външния изолационен капак и вътрешния изолационен капак, преди да можете да проведете експеримента .

Забележка: Когато поставите пробата, внимавайте да не докосвате нагревателния елемент, за да избегнете късо съединение между нагревателния елемент и черупката на пещ .

4. Задайте програмата за отопление

1. Отопление: Обикновено зададено от програмата, максималната скорост на нагряване е 10 градуса /мин . Ако искате да се загреете бързо в ранния етап на експеримента, можете да настроите режима на нагряване на "ръчно" и бавно регулирайте мощността по часовниковата стрелка, за да увеличите бавно тока, за да се загрява; Като цяло, под 200 градуса, можете първо да се загреете ръчно, в противен случай контролът на температурата ще бъде неточен . 1000-2000 градус, може да се използва инфрачервен автоматичен контрол на температурата на пещта .

Забележка: Отоплението трябва да се извършва под вакуум; Обърнете внимание на индикацията на текущия метър, че вторичният номинален ток не трябва да надвишава 700A .

2. Охлаждане:

Тя може да бъде поставена през програмата или директно да изключите отоплението и да го оставите да се охлади само по себе си . Забележка: Водата не се оставя да бъде спряна по време на процеса на охлаждане, в противен случай пещта за уплътняване на тялото ще бъде изгорена .

V . Задайте програмата за натиск

1. Председателство: Предварителното налягане трябва да се извърши преди нагряване, а диапазонът на настройка на налягането обикновено е между 1.0-1.5 MPa; Предварителното налягане може да бъде постигната ръчно .

2. Налягане: След като температурата се повиши до предварително зададената температура, пробата се поставя под налягане. Обикновено програмата е настроена на автоматично налягане на пробата. Максималната стойност на налягането, която оборудването може да постигне, е 16MPa, което е еквивалентно на 10t (16MPa=10t).

A: Manual pressurization: Rotate the pressurization potentiometer and observe the displacement indication at the same time. If the displacement change is very small, it means that the upper and lower punches have contacted the sample. After the pressurization is finished, turn the "up-stop-down" switch to the stop position, and turn the pressurization potential device to the minimum.

B: Automatic pressurization: First set the required pressure on the instrument. When the required pressure and the measured pressure are basically the same, turn the "up-down" switch to the up position, observe the displacement and pressure changes, and automatically realize the pressure maintenance and pressure stabilization functions after the rise is in place. After the pressurization is finished, just turn the "up-stop-down" switch to the down Позиция . След достигане на дъното включете превключвателя "Up-Stop-Down" в позиция за стоп . Накрая изключете хидравличната помпа .

ЗАБЕЛЕЖКА: Когато не налягате или разтоварвате, налягането трябва да бъде зададено на отрицателна стойност, а хидравличната помпа трябва да бъде спряна . Задайте цилиндъра на позицията за стоп, когато не се използва, в противен случай ще бъде погрешно операция .

Вакуумна помпа

Шест, Електрически стъпки за вакуумиране на пещта:

Включете превключвателя за вакуум

1. Нисък вакуум: Затворете всички вакуумни клапани, стартирайте механичната помпа, изчакайте тя да работи нормално (около 1-2 min), отворете ниския вакуум вентил, водещ към тялото на пещта, тоест горната клапа на пеперудата и предварително евокализира тялото на пещта;

2. Висока вакуум: Отворете долната клапа на пеперудата, евакуирайте дифузионната помпа и когато степента на вакуум достигне под 15 PA, включете дифузионната помпа за предварително нагряване . Като цяло, след около 45 минути, дифузионната помпа започва да работи и можете да затворите горната част на пеперудата . в същото Вакуумната степен достига над 1 . 33 × 10-1 PA, преди да включите бутона за отопление, за да загреете пробата.

A: Вакуумният габарит има два гамата, нисък вакуум диапазон 1 . 0 × 105-1.0 × 10-1; Високи вакуумни диапазони 1 . 0 × 10-1-1.0 × 10-5, обикновено започнете да превключвате диапазони при 2PA . Обърнете внимание, че преди да напълните въздуха, вакуумният габарит трябва да бъде изключен, за да се предотврати стареенето от стареенето. Забележка: Горният клапан на пеперудите и основният блокиращ клапан не могат да бъдат отворени едновременно.

Седмо, защитната атмосфера може да се премине през аргон с висока чистота или азот за защита от синтероване .

Диапазонът на налягане на инфлацията е от нормално налягане до 7000PA .

Осмо, след експеримента

1. Когато не се използва, тялото на пещта трябва да се съхранява във вакуумно състояние (отворете механичния клапан на пеперудата на помпата, за да вакуумирате тялото на пещта за около 1 час, а манометърът на под налягане зад тялото на пещта показва по-малко от -0.1), в противен случай вакуумната ефективност ще бъде редуцирана в следващия път, когато се използва;

2. Изключете превключвателя на чилъра;

3. Извадете наблюдателното стъкло на вакуумната пещ (особено прозорецът за наблюдение на инфрачервения инструмент) за почистване;

4. Почистете повърхността на електрическата пещ, за да я поддържате чиста;

5. Направете подходящи записи в експерименталната книга .

6. Преди да тръгнете, моля, проверете дали прозорците на водата, електричеството, светлината и климатиците са затворени ., след като потвърдите, че са правилни, заключете вратата, преди да напуснете .