Машината за вакуумно покритие трябва да се комбинира с множество различни помпи, за да работят една с друга

Машината за вакуумно покритие трябва да се комбинира с множество различни помпи, за да работят една с друга

Когато избирате вакуумна помпа, първо обърнете внимание дали вибрациите, генерирани от вакуумната помпа по време на работа, оказват влияние върху процеса и околната среда. Ако процесът е засегнат, трябва да се вземат антивибрационни мерки или да се избере друга вакуумна помпа. Когато избирате, трябва да знаете състава на газа, който ще се изпомпва. Ако се изисква селективно изпомпване, една помпа може да не е достатъчна, за да отговори на изискванията и трябва да се комбинират различни помпи, за да работят заедно. Ако покритието на оборудването за вакуумно покритие не изисква масло, е необходимо да изберете помпа без масло.

Цената и разходите за поддръжка на вакуумната помпа също са един от ключовите моменти, които разглеждаме.

Вакуумното охлаждане на машината за нанасяне на покритие е необходимо за всички източници (магнетронни, многодъгови, йонни)

Магнетронното реактивно разпръскване на изолатори изглежда лесно, но действителната работа е трудна. Основният проблем е, че реакцията протича не само на повърхността на детайла, но и на анода, повърхността на вакуумната камера и повърхността на целевия източник. По този начин причинява гасене на пожар, източник на мишена и дъга на повърхността на детайла и т.н. Технологията с двоен целеви източник, изобретена от Leybold в Германия, решава този проблем много добре. Принципът е, че двойка целеви източници са катод и анод един на друг, като по този начин се елиминира окисляването или азотирането на повърхността на анода. Охлаждането е необходимо за всички източници (магнетронни, многодъгови, йонни), тъй като голяма част от енергията се превръща в топлина. Ако няма охлаждане или е недостатъчно охлаждане, тази топлина ще накара температурата на целевия източник да достигне повече от 1,000 градуса и ще стопи целия целеви източник. .

www.superbheater.com