Основните аспекти на монокристалната пещ, които трябва да се контролират
Остави съобщение
Основните аспекти на монокристалната пещ, които трябва да се контролират
1. Диаметър на кристала (размер)
2. Температура (контрол на мощността)
3. Суровина (силициев материал)
4. Скорост на изтичане, качество на аргон и др.
Материал на монокристална пещ:
След като материалът е готов, проверете дали има неразтопен силициев материал по вътрешната стена на тигела. Ако има неразтопен силициев материал, сблъсъкът с неразтопения силиций, когато топлинният щит падне, ще причини колебания в нивото на течността в тигела и ще повлияе на растежа на силициевите пръчки.
Многократно вентилирайте с Ar газ и евакуирайте този процес, за да източите кислорода в тялото на пещта, за да избегнете остатъчния кислород
Влияят на съдържанието на кислород в монокристалните силициеви пръти
Процесът на монокристална пещ на Чохралски:
Зареждане→Вакуум→Топене→Зародишен кристал и синтез на разтопен силиций→Зародишен кристал→Настройка на рамото→Въртене на рамото→Равен диаметър→Край
Система за управление на задвижването на монокристална пещ:
Трансмисионната система включва кристално издигане, кристално завъртане, издигане на панорама, завъртане на панорама, като цяло приема мотор на тахометър и електрическо задвижване
Методът на машината коаксиален, извадете напрежението на сигнала на промяната на скоростта и напрежението на сигнала на скоростта с a
Постоянното напрежение е относително дебело и задвижващото напрежение на задвижващия двигател се контролира от зоната на усилване, за да се постигне стабилно
Целта на фиксираната скорост.
Система за контрол на температурата на монокристална пещ:
Използвайте комбинация от обратна връзка за мощност и обратна връзка за температура, за да контролирате температурата
Система за термично поле на монокристална пещ:
Системата за термично поле включва графитен нагревател, графитен тигел, изолиращо покритие от графит-въглерод, изолационно покритие от графит и графитен електрод.
Еднокристална пещна газова система:
Входящият газ Ar не само действа като топлоносител, но също така отнема изпарения SiO и CO в тялото на пещта.
Чака газ
Вакуумна система на монокристална пещ:
След преминаване на газ Ar в тялото на пещта, използвайте вакуумна помпа за евакуиране и повторете този процес, за да източите кислорода в тялото на пещта.
Избягвайте остатъчния кислород да повлияе на съдържанието на кислород в монокристалния силиконов прът.
www.superbheater.com
