Монокристална пещ, пълна с газ аргон, литра мощност, топящ се материал

Монокристална пещ, пълна с газ аргон, литра мощност, топящ се материал

а. След изчерпване на теча и преминаване на теста, включете захранването на вакуумната помпа.

b. Бавно отворете сферичния кран.

° С. Включете системата за зареждане с газ аргон и регулирайте скоростта на потока аргон в спомагателната камера на 20~30L/мин, за да стабилизирате налягането в пещта на 1000~1500Pa.

д. Включете ключа за отопление.

д. Според таблицата по-долу, увеличете мощността стъпка по стъпка чрез европейския измервателен уред. Всяко нагряване се записва съответно. Използването на еврометъра трябва да се извършва внимателно, за да се предотврати бързото увеличаване на мощността, което може да доведе до мигновено претоварване на трансформатора или да причини мигновен прекомерен ток към цялата отоплителна верига и да причини запалване или повреда. Нагряването трябва да се извършва в строго съответствие с последователността на нагряване, в противен случай температурата може внезапно да се повиши и да причини напукване на кварцовия тигел и изтичане на силиций.

Сила на времето

0мин. 50KW

30 минути 70KW

60 мин<100KW

f. По време на процеса на топене винаги обръщайте внимание на ситуацията в пещта. Ако няма необичайно свиване, тигелът се настройва да се върти 2 r/min и подходящата позиция на тигела се повдига. И направете съответните записи. Когато повдигате тигела, внимавайте повърхността на силиконовата течност да не докосне долния ръб на направляващата тръба. След като вдигнете пота, потвърдете, че потът няма действие върху скалата на позицията на пота. В противен случай отклонителната тръба ще залепне за силиций и ще причини прескачане на силиций.

ж. Когато материалът се разтопи, намалете мощността на нагряване до температурата на засяване (съответстваща на пещта). Настройте гърнето на 5~7r/min и направете съответните записи.

ч. Когато стойността на Eurometer спадне до стойността, съответстваща на температурата на засяване, автоматичното включване се извършва и съдът се повдига до стабилна позиция на съда за посяване, т.е. разстоянието от водещата тръба до повърхността на течността е около 15 мм. Позицията на съда за засаждане може също да се определи според увеличаването/намаляването на количеството на захранване въз основа на натоварването на пещта. За подробности, моля, вижте Приложение A. Референтна таблица за промяна на позицията на засяване. И направете съответните записи.

www.superbheater.com