Локална концентрация на ток в машина за вакуумно покритие

Локална концентрация на ток в машина за вакуумно покритие

Изхвърлената част от точката с висока електронна плътност ще генерира ток с висока плътност, а токът с висока плътност може да генерира джаулова топлина и да накара температурата на точката да продължи да се повишава, излъчвайки горещи електрони. Това явление води до локализирана концентрация на ток.

Топлината на Джаул, генерирана от локализираната концентрация на тока, може да предизвика масивна емисия на йони и електрони от катодния материал, освобождавайки частици от разтопен катоден материал и оставяйки следи от разряд.

Част от йоните в голям брой изхвърлени йони ще бъдат засмукани обратно към повърхността на катодния материал, за да регенерират слоя с пространствен заряд и силното електрическо поле, а новосъздадената точка с малка работна функция ще започне отново да излъчва електрони .

Електроните се излъчват от границите на зърната на вакуумните машини за нанасяне на покрития

Металните йони се привличат към повърхността на катода и могат да генерират слой пространствен заряд. Силното електрическо поле, задействано през това време, причинява изхвърляне на електрони от микропукнатини или граници на зърната с малка работна функция върху повърхността на катода.

Вакуумна вътрешна стена и целеви източник анод на машина за вакуумно покритие

След много сблъсъци енергията на електроните постепенно намалява, освобождава се от оковите на линиите на магнитното поле и накрая пада върху субстрата, вътрешната стена на вакуумната камера и анода на целевия източник. Под ускорението на високоволтовото електрическо поле йоните Ar plus се сблъскват с мишената и освобождават енергия, карайки атомите на повърхността на мишената да абсорбират кинетичната енергия на йоните Ar plus и да се откъснат от първоначалната решетка, и неутралните целеви атоми излизат от повърхността на целта. Отлетете до субстрата и поставете тънък филм върху субстрата.

www.superbheater.com