Как се използват PTFE нагреватели за нагряване на водата за изплакване за електрополирани полупроводникови газови панели?
Остави съобщение
Полупроводниковият газов панел е произведение на изкуството с чистота на повърхността, произведен от солидна неръждаема стомана, след което електрополиран до огледален блясък. Последното почистване е изплакване с гореща ултрачиста вода, която трябва да е чиста като самия панел. Няма начин потопяемият нагревател, загряващ тази вода, да бъде източник на един метален йон, който да се отложи обратно върху тази чиста повърхност без кратери.
Изплакването на електрополирания газов панел в PTFE нагревателя осигурява топлинна енергия, която не компрометира повърхностната химия или йонната чистота и е част от контрола на замърсяването.
Ролята на нагрятата свръхчиста вода за окончателното почистване на панела
Електрополираните полупроводникови газови панели изискват много строго регулирано почистване след -обработка, за да се елиминират остатъчните електролити и микроскопичните примеси от етапа на полиране. Такива остатъци, ако бъдат оставени, могат да предизвикат корозия или производство на частици в системи за доставяне на газ с ултра-висока чистота.
Процедурата за изплакване обикновено се състои от:
Гореща дейонизирана (DI) вода (60 до 80 градуса)
Непрекъснато промиване/потапяне на газови панели
Легла за йонообменно полиране в контури за рециклиране с висока чистота
Нагряването подобрява кинетиката на почистване поради повишена разтворимост на остатъчните електролити и подобряване на скоростта на дифузия в повърхностния граничен слой.
PTFE потопяеми нагреватели за източник на-свободна топлина
В полупроводникови приложения обичайното решение за нагряване на свръхчиста вода за изплакване е PTFE потопяем нагревател. PTFE обвивката е химически инертна, не-метална бариера, която предотвратява йонно замърсяване.
Нагревателят е последният невидим протектор на електрополираното огледало...
Основните характеристики на ефективността са:
Без излужени железни, хромови, никелови или други метални йони
PTFE повърхността е химически инертна и не показва реактивност в свръхчисти условия.
Нискоенергийна гладка повърхност за предотвратяване на образуването на котлен камък и полепването на частици
Съвместим със системи за ултра чиста вода до 18 megohm-сантиметра
При изплакването на електрополиран газов панел с PTFE нагревател чистотата на материала е еднакво важна за топлинните характеристики, тъй като дори следи от йонно замърсяване могат да се отложат отново върху ултра-гладките повърхности от неръждаема стомана.
Топлинни предимства на повишените температури на изплакване
Нагряването на свръхчиста вода при последното изплакване предлага редица предимства на процеса:
Подобрено елиминиране на остатъците от електрополиращи киселини и соли
По-ниско повърхностно напрежение за подобряване на омокрянето на микроелементите
Цикълът на изплакване е по-бърз
По-ефективна десорбция на слабо свързани замърсители
Необходимо е термично почистване, за да се запази целостта на повърхността, тъй като електрополираните повърхности са много чувствителни към повторно отлагане на метал.
Бележка за чистота: Управление на околната среда в резервоара
За да се поддържа водата чиста, е необходимо цялостно екологично управление на системата за изплакване. В-висок клас системи за почистване на полупроводници:
Резервоарите за изплакване са запечатани и покрити с азот.
Намалете навлизането на CO 2 в атмосферата, за да предотвратите образуването на карбонати
Съпротивлението се наблюдава непрекъснато
Прекарват се окончателни пластове смола за полиране
Липсата на покритие от инертен газ, разтвореният CO2 може да намали съпротивлението на вода и да промени химията на повърхността, повишавайки риска от замърсяване в последния цикъл на изплакване.
Интегриране на рециркулационни системи с висока чистота
PTFE потопяеми нагреватели обикновено се използват в затворени системи за свръхчиста вода, които съдържат:
Етапи на високоефективно филтриране на частици
Йонообменни полиращи агрегати, смесен{1}}слой
Рециркулационни помпи с контрол на температурата
Сензори за наблюдение на проводимост и съпротивление
Нагревателят е термомодул, който не замърсява системата. В тази затворена система контролът на температурата се постига без да се застрашава химическата чистота.
Повърхностна цялост и управление на риска от замърсяване
За електрополирани полупроводникови газови панели ултра-гладка наноразмерна повърхност е от изключително значение, тя е:
Йонно пре-отлагане
Адхезия на частици
Начало на локализирана корозия
Всяко метално замърсяване, въведено по време на последното изплакване, може да се вмъкне или да се фиксира химически върху повърхността за постоянно. Този проблем прави още по-важно използването на изцяло инертни нагревателни елементи, като например потопяеми нагреватели с PTFE-обвивка.
Последни мисли
PTFE потопяемият нагревател е ключов компонент в процедурата за окончателно почистване на полупроводниковите газови панели. Топлинната енергия в електрополирания газов панел от PTFE нагревател се измива без компромис с йонната чистота, поддържайки електрополираната повърхност чиста от замърсяване в най-чувствителния етап на обработка.
Най-великата технология изисква дори най-простите операции, като горещо ултрачисто изплакване, да се извършват с пълна цялост на материала. Последният процес на почистване в производството на полупроводници не е изплакване, а процедура за запазване, която запазва прецизността и чистотата, проектирани във всяка повърхност.
