Как нагревателните плочи са сертифицирани да отговарят на стандартите SEMI за оборудване за производство на полупроводници?

Производството на полупроводници изисква голяма чистота и чистота на материалите. Нагревателните плочи, използвани в оборудването за обработка на вафли, трябва да отговарят на много строги критерии на SEMI, които надхвърлят основната електрическа безопасност и включват отделяне на газове, производство на частици и съвместимост на материалите.

Какво представляват стандартите SEMI
SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) е международна търговска асоциация, която създава стандарти за гарантиране на качеството, безопасността и екологичната съвместимост на оборудването за производство на полупроводници. Тези критерии са от съществено значение за чистотата и производителността, необходими при производството на полупроводници. Стандартите SEMI обхващат широк спектър от теми, включително безопасност на оборудването (S2), екологична съвместимост (S8) и-специфични изисквания за материали. Когато става въпрос за нагревателни плочи, SEMI съответствието означава, че те отговарят на високите стандарти за чистота, необходими за производството на полупроводници.

Стандартен ключ на SEMI за нагревателни плочи
SEMI S2 - Безопасност на оборудването
SEMI S2 установява общи правила за безопасност за полупроводниково оборудване, за да се гарантира, че нагревателните плочи са безопасни за използване в производствена среда. . Съответствието със SEMI S2 се потвърждава от оценка на трета-страна, извършена от сертифициран оценител SEMI S2. Стандартът обхваща електрическата безопасност, механичната цялост и общата работа на оборудването.

SEMI S3 - Указания за безопасност за отопляеми химически бани
SEMI S3 се отнася до безопасността на оборудването в отопляеми химически вани. Този стандарт гарантира, че нагревателните плочи, използвани в системи за химическа обработка, не представляват рискове за безопасността или оперативна неефективност. Той също така включва материали и структура за избягване на замърсяване от горещия химически разтвор.

SEMI F57 - Спецификация за полимерни материали в ултрачиста вода и течни химически системи
SEMI F57 определя стандартите за полимерни материали, включително покрития върху нагревателни плочи, в контакт с ултра чиста вода и течни химикали. Този стандарт гарантира, че материалите, използвани в оборудването за производство на полупроводници, са съвместими с ултра-чисти течности и не оказват влияние върху чистотата на процеса.

Стандарти за сертифициране на нагревателни плочи
Нагревателните плочи в полупроводниковото оборудване трябва да бъдат стриктно тествани по стандартите SEMI. Тези тестове са свързани с качествата на материала, устойчивостта на замърсяване и химическата съвместимост:

Отделяне на газове (ASTM E 595)
Отделянето на газове е емисия на летливи химикали от материалите на нагревателната плоча при нагряване. При производството на полупроводници, замърсяването в околната среда на чистите помещения може да доведе до неизправности в полупроводниковите устройства дори от малки нива на отделяне на газове. Нагревателните плочи, направени от материали като PTFE и PFA покрития, трябва да бъдат тествани за отделяне на газове съгласно изискванията на ASTM E595, за да се гарантира, че не отделят опасни съединения по време на работа.

Частиците падат-
Нагревателните плочи трябва да бъдат конструирани така, че да се сведе до минимум създаването на частици, които могат да замърсят пластината или химически операции. Всеки материал, който може да влезе в контакт с технологични течности, трябва да бъде изследван, за да се гарантира, че не отделя частици до нива, които ще попречат на деликатните производствени процеси в полупроводниковите фабрики.

Устойчивост на технологични химикали
Нагревателните плочи при производството на полупроводници често са подложени на враждебни вещества като киселини, разтворители и свръхчиста вода. Тези материали трябва да бъдат устойчиви на корозия и на разграждане при уникалните обстоятелства на процеса на производство на полупроводници. PTFE и PFA покритията са широко използвани върху нагревателните плочи поради тяхната превъзходна химическа устойчивост, гарантираща, че целостта на нагревателната повърхност се поддържа без внасяне на замърсители.

Стандарти SEMI за нагреваеми плочи и патронници Важни стандарти SEMI Безопасност на оборудването SEMI S2 - (Общи изисквания за безопасност)

SEMI S3 - Указания за безопасност за нагревател за химическа баня

SEMI F57 - Спецификация за полимерни материали в свръхчиста вода и течни химически системи

ASTM E595 Метод за изпитване на отделяне на газове

SEMI F47 – Препоръчителни практики за оборудване за производство на полупроводници

Заключение
SEMI е стандарт, че нагревателните плочи, използвани в полупроводниковото оборудване, трябва да отговарят на стандартите за чистота и безопасност на полупроводниковата индустрия. Нагревателните плочи са сертифицирани без метално замърсяване, минимизират отделянето на частици и отговарят на разпоредбите за отделяне на газове за защита на производствения процес на полупроводници. Нишевите сектори разработват свои собствени специфични стандарти, за да изпълнят специфичните си технически нужди. Съответствието с такива стандарти гарантира, че оборудването отговаря на строгите изисквания за висока-производителност на полупроводниковата индустрия.