Обяснение на технологията за калибриране на температурата за термометър в пещ за високотемпературно отгряване

Съобщава се, че високотемпературната пещ за отгряване приема система за управление със затворен цикъл, съставена от ускорен цифров PLD температурен контролер, термодвойка, пирометър и източник на топлина за правилно контролиране на температурата. Чрез съвместно управление на халогенни лампи в различни региони, температурната разлика във всеки регион може да бъде компенсирана по време на процеса на контрол на температурата, като температурата на различните региони на субстрата се поддържа непроменена. Поради инсталирането си на дъното на кухината, пирометърът може да получава радиация само от задната страна на субстрата и не може да получава радиация от лампата. Следователно пирометърът може точно да измерва температурата на субстрата. Принципът на температурно калибриране на този пирометър е следният:
1. Въведение в пирометъра:
Пирометърът, представен в тази статия, е оптичен пирометър с топлинно излъчване. Когато пирометърът получи инфрачервено лъчение от измервания обект, оптичният сигнал се филтрира, фотоелектрически преобразува и усилва, за да стане аналогов сигнал, който след това се предава към модула на интерфейсната верига на сигнала на сензора. Този модул извършва A/D преобразуване на сигнала и го преобразува в цифров сигнал, който може да бъде разпознат от компютъра. Цифровият сигнал, върнат обратно към компютъра, се нарича стойност на обратната връзка на пирометъра в следващия текст.
2. Таблица за калибриране на температурата:
Съгласно съответните закони температурата на даден обект е свързана с неговата радиация и спектрална излъчвателна способност. При високотемпературните пещи за отгряване количеството радиация, получено от пирометъра, зависи главно от фактори като материал на субстрата, допинг, естествен оксиден слой на повърхността и температура на субстрата. За същия тип субстрат (т.е. субстрати със същия материал, допинг и повърхностен естествен оксиден слой), количеството радиация, получено от пирометъра, е свързано с температурата на субстрата. Следователно, за същия тип субстрат, стойността на обратната връзка на пирометъра съответства едно към едно на температурата на субстрата. Това съответствие съставлява данни за температурно калибриране и таблица за температурно калибриране се използва за съхраняване на данните за връзката между множество температури на субстрата и стойности на обратна връзка от пирометър. Различните температури съответстват на различни стойности на обратната връзка на пирометъра. Компютърът на пещта за високотемпературно отгряване може да изчисли действителната температура на субстрата въз основа на обратната връзка за стойността на сигнала от пирометъра и таблицата за калибриране на температурата.